「次世代半導体デバイスを支える『製造装置用低発塵性部材』の開発」で
第6回 ものづくり日本大賞「内閣総理大臣賞」を初受賞
~エアロゾルデポジション法による製膜技術で、品質・歩留まり向上に貢献~
TOTO株式会社(本社:福岡県北九州市、社長:喜多村 円)は、「次世代半導体デバイスを支える『製造装置用低発塵性部材』の開発」で、第6回ものづくり日本大賞「内閣総理大臣賞」(製品・技術開発部門)を受賞しました。