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世界で増える「半導体製造装置」の需要増加を見据え
TOTOファインセラミックス本社・中津工場内に
セラミックス製品の新生産工場棟を建設

TOTO株式会社(本社:福岡県北九州市、社長:喜多村 円)は、TOTOファインセラミックス本社・中津工場敷地内に新たなセラミックス製品の生産工場棟を建設します。

TOTOのセラミック事業は「オンリーワン技術を進化させ、TOTOならではの価値をお客様に提供する」ことを目指しています。2018年度から始まった中期経営計画「TOTO WILL2022」では、2022年度に売上370億円、営業利益80億円を目指し、その業績を順調に伸ばしています。
TOTOのセラミック事業の主力製品である「静電チャック」は半導体製造装置のキーパーツであり、近年の半導体メモリ進化に伴い、今後さらなる需要の拡大が見込まれています。こうした市場の旺盛な需要にタイムリーに対応することを目的とし、新工場棟を建設します。
新工場棟は静電チャックの量産工場と位置付け、約118億円を投資します。また、これまで培ってきた最先端のセラミックス加工技術とノウハウを結集させ、IT技術も駆使することで、生産性向上を目指したスマートファクトリー化の実現を図ります。新工場棟は2019年1月より着工し、2020年10月からの稼働開始を目指します。

TOTOファインセラミックス本社・中津工場 第4棟(仮称)の外観イメージ
TOTOファインセラミックス本社・中津工場 第4棟(仮称)の外観イメージ

建設計画の概要

建設計画の概要

静電チャックについて

静電チャックは、半導体製造時に集積回路の精密加工を行うため、真空・プラズマ環境下において静電気で半導体ウェハーを固定するためのセラミックス部品です。
TOTOの静電チャックは、材料からの一貫した管理による高い耐久性と低パーティクル(製造時に塵が発生しにくいこと)を実現しています。また、高い設計力と解析技術、高精度加工により最先端の半導体製造プロセスに貢献しており、世界のお客様から高い評価を受けています。

静電チャックの搭載概念図

TOTOのセラミック事業について

TOTOでは、1984年にセラミック事業部を発足して以来、工業セラミックス製品を提供しています。衛生陶器で培った成形・焼成技術をベースに、オンリーワン技術を進化させ、半導体や液晶、光通信市場などを牽引する世界のお客様へTOTOならではの価値を提供し、戦略パートナーとしての地位を確立しています。その売上の80%は海外向けであり、お客様から求められる、ICT機器の小型化・高性能化・低消費電力化・高精細化の要望に対応してきました。

TOTOホームページ 『精密セラミックス』
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