低熱膨張セラミックス(コーディエライト)

室温付近で0.0x10-6/度の低熱膨張、軽量を生かし、装置の性能向上に貢献します。
拡散接合により複雑形状が実現可能です。
空隙のない素材の製作が可能です。

  • 製作例 : 450×450×60 mm

    製作例 : 450×450×60mm

  • 拡散接合

    拡散接合

用途

  • ■ 半導体用の超精密位置決めステージのテーブル・ガイド
  • ■ 光源付近に位置する部材で熱による精度変化を抑えたい精密部材、ミラー代、ミラー基材等

物性値比較

材質 TOTOの低熱膨張素材 TOTOの低熱膨張素材(HIP) ゼロ熱膨張ガラス ゼロ熱膨張金属
熱膨張係数 ×10-6/℃ 0.0 0.0 0.0 0.0
ヤング率 Gpa 137 143 90 150
比重 2.55 2.58 2.53 8.00
比剛性(ヤング率/比重) 54 55 36 19

精密構造部品

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