低熱膨張セラミックス(コーディエライト)
室温付近で0.0x10-6/度の低熱膨張、軽量を生かし、装置の性能向上に貢献します。
拡散接合により複雑形状が実現可能です。
空隙のない素材の製作が可能です。
用途
- ■ 半導体用の超精密位置決めステージのテーブル・ガイド
- ■ 光源付近に位置する部材で熱による精度変化を抑えたい精密部材、ミラー代、ミラー基材等
物性値比較
材質 | TOTOの低熱膨張素材 | TOTOの低熱膨張素材(HIP) | ゼロ熱膨張ガラス | ゼロ熱膨張金属 |
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熱膨張係数 ×10-6/℃ | 0.0 | 0.0 | 0.0 | 0.0 |
ヤング率 Gpa | 137 | 143 | 90 | 150 |
比重 | 2.55 | 2.58 | 2.53 | 8.00 |
比剛性(ヤング率/比重) | 54 | 55 | 36 | 19 |
精密構造部品
大型セラミック部材
高比剛性セラミックス
(SiSiC)導電性セラミックス
低熱膨張セラミックス
(コーディエライト)測定工具