導電性セラミックス

導電性アルミナセラミックスはワークへの静電気の影響を防ぐ目的で開発され、
表面コーティングとは異なる安定した特性を示します。

  • 製作例 : 裏面リブ構造が可能（450×300×55 mm）

    製作例 : 裏面リブ構造が可能（450×300×55mm）

用途

  • ■ 超精密位置決めステージ用テーブル、ガイド軸の静電気対策
  • ■ 精密検査、評価装置関連部材の静電気対策
  • ■ FPD（液晶、PDP、有機EL）向けテーブル
  • 製作例 : 位置決めステージ用ガイド

    製作例 : 位置決めステージ用ガイド

  • 製作例 : FPD用テーブル

    製作例 : FPD用テーブル

物性値比較

  • 物性値比較
材質 導電性セラミックス アルミナ Al2O3 99.7％
体積抵抗率 Ω/cm（25℃） 1010〜1011 ＞1014
ヤング率 Gpa 270 370
比重 3.65〜3.7 3.9
比剛性（ヤング率/比重） 73〜74 95

精密構造部品

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