高比剛性セラミックス（SiSiC）

当社SiSiCはSiCとSiを複合させた高比剛性素材です。
反応焼結接合による複雑中空形状が実現可能です。
空隙のない素材の為、アウトガスが少なく、真空環境下での使用に適しています。

  • 製作例 : 300×450×50mm

    製作例 : 300×450×50mm

  • 反応焼結接合

    反応焼結接合

用途

  • ■ 超精密位置決めステージ用テーブル、ガイド軸等
  • ■ ミラー台、ミラー基材
  • ■ 精密検査、評価装置関連部材

物性値比較

材質 複合セラミック Si-SiC アルミナ Al2O399.7％ SiC グラナイト
熱膨張係数 ×10-6/℃ 2.3 5.4 2.6 5.0
ヤング率 Gpa 360 370 400 60-100
比重 3.0 3.9 3.1 2.9
比剛性（ヤング率/比重） 120 95 129 20-35

精密構造部品

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