低熱膨張セラミックス（コーディエライト）

室温付近で0.0x10^-6/度の低熱膨張、軽量を生かし、装置の性能向上に貢献します。
拡散接合により複雑形状が実現可能です。
空隙のない素材の製作が可能です。

製作例 : 450×450×60mm
拡散接合

用途

■ 半導体用の超精密位置決めステージのテーブル･ガイド
■ 光源付近に位置する部材で熱による精度変化を抑えたい精密部材、ミラー代、ミラー基材等

物性値比較

材質	TOTOの低熱膨張素材	TOTOの低熱膨張素材（HIP）	ゼロ熱膨張ガラス	ゼロ熱膨張金属
熱膨張係数 ×10^-6/℃	0.0	0.0	0.0	0.0
ヤング率 Gpa	137	143	90	150
比重	2.55	2.58	2.53	8.00
比剛性（ヤング率/比重）	54	55	36	19

精密構造部品