大型セラミック部材

TOTO独自の鋳込み成形技術により、一体型の大型セラミック部材をお届けします。
大型･高比剛性で、装置の軽量化、スループット向上に貢献します。

  • 中空ガイド

    中空ガイド

  • 平板

    平板

タイプ サイズ例（mm） 特長
平板 1,700×750mm 高比剛性、高精度
中空ガイド 長寸3,800mm 高比剛性、高精度、軽量

セラミック中空ガイド例

断面形状例

断面形状例

  • ■素材
    アルミナ87%
    （TOTO素材 : AC270）
  • ■加工
    精密研削、ラップ仕上げも対応可能

用途

  • ■ FPD（液晶、PDP、有機EL）向け超精密位置決めステージ用可動テーブル、可動用ガイド軸
  • ■ FPD向けガラス吸着用テーブル
  • ■ 精密検査、評価装置関連部材

精密構造部品

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