エアスライド

ステージ構成例

TOTOのエアパット設計・高精度加工技術により、高い直線性と繰り返し再現性を実現することで高い位置決め精度に貢献します。

エアスライドを構成している静圧空気軸受（エアベアリング）とは、図のようにテーブルから絞りを通して常に0.4MPa程度の加圧空気をガイドに対して噴出させ、発生した静圧によってテーブルを浮上させる非接触の軸受です。

*平均効果
空気の膜で浮上しているため、ガイド、テーブルの表面の微少なうねり、表面粗さに影響されることなく、テーブル面内で平均化された浮上量を保つため、テーブルの運動精度が向上します。

• ■ 再現性に優れています。
• ■ 非接触のためスティックスリップが起きません。
• ■ 運動中の振動が微少です。
• ■ 摺動抵抗が極めて小さく、高い位置決め精度が可能です。
• ■ 軌道上を非接触で移動するため、平均効果*が得られ高い真直精度が得られます。
• ■ 摩擦による発熱が無いため、高速移動が可能です。
• ■ 注油・グリスなどが不要なため、クリーン＆メンテナンスフリーです。