エアスライド製品バリエーション

一軸エアスライド

  • 一軸エアスライドの画像

    豊富なバリエーションを取揃えております。

  • スタック型XYステージ画像

    スタック型XYステージ(構成イメージ図)

精度(例):0等級の真直精度

垂直方向
(ストローク×0.08/100)μm
水平方向
(ストローク×0.05/100)μm
例 : 300ストローク 0級の垂直方向真直精度
300×0.08/100=0.24よって0.24μm/300mm

角度運動 (精度等級例):角度運動(ピッチング・ヨーイング)μrad

ストローク 0級
100mm 4
300mm 7
500mm 10
エアスライドストロークと角度運動
(ピッチング、ヨーイング/全ストロークの実測値から算出)

超低振動エアスライド

超低振動エアスライドの画像

更なる高精度のニーズに対応する超低振動エアスライドです。当社独自の軸受設計技術、測定評価技術により、テーブル振動1nm以下を達成しました。ナノメータレベルの精度要求におこたえします。

  • エアON…0.72nm
  • エアOFF…0.63nm
  • エアーON-OFFで見るB4型水平方向微振動データ 0.09nm
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