高比剛性セラミックス（SiSiC） 当社SiSiCはSiCのマトリックスにSiCを複合させた高比剛性素材です。 空隙のない素材の為、アウトガスが少なく、真空環境下での使用に適しています。 製作例 : 300×450×50mm 用途 ■ 超精密位置決めステージ用テーブル、ガイド軸等 ■ ミラー台、ミラー基材 ■ 精密検査、評価装置関連部材 エンジニアリングセラミックス 大型セラミック部材 高比剛性セラミックス（SiSiC） 導電性セラミックス 測定工具
