静電チャック

TOTOの静電チャックは、材料からの一貫した管理により高い耐久性と低パーティクルを実現するとともに、
実績に裏づけされた設計・解析能力と高精度加工により最先端の半導体プロセスに貢献しています。

吸着方式とその特長

吸着原理

吸着原理

TOTOの静電チャックの特長

TOTOの静電チャックの特長

■素材

・耐プラズマ性が高く、長寿命

・低パーティクル

・ご要望に沿った素材提案

■設計

・高い解析技術を保有（構造解析、伝熱解析、他）

■量産技術

・ターンキー対応可能（セラミック、ヒーター、冷却ジャケット）

・450ｍｍ対応可能

TOTOの素材・設計・量産技術をいかし、お客様のウェハ温度コントロールのご要求にお応えします。

プラズマ照射試験例

TOTOの耐プラズマ性素材は一般的な高純度アルミナ（純度99.9％）と比較して、耐プラズマ性に優れています。