ボンディングキャピラリー

TOTOが開発した高い耐久性を有する材料をベースに、高精度且つ均一な加工技術により、半導体組立工程における生産性向上を実現します。
また、設計・解析能力及びエンジニアリングサポートによりお客様の技術課題の早期解決に貢献します。

長寿命素材PX

TOTOの長寿命素材PX™は、素材の耐摩耗性向上により、キャピラリーの先端摩耗を抑制します。

効果

①キャピラリーの長寿命化により、ワイヤボンディングの生産性を高めます。
・キャピラリーの交換回数を減らし、装置稼働率を向上。

②初期のボンディング接合強度、初期プロセスウインドウの長期維持を実現します。
・ボンダビリティの長期安定性、歩留まり向上に貢献。

素材特性

素材物性、製造プロセスの改良により、耐摩耗性の向上を実現しました。

素材	TOTOのPX™素材	他社A	他社B
曲げ強度	1339	965	1195
細孔占有率	12	392	131
ビッカーズ硬度	2032	1812	1953

PX™キャピラリー寿命評価結果

TOTOのPX™キャピラリーは、Die-to-dieボンディングにおいて、250万ボンド、粗化PPFリードフレームで300万ボンドを達成。
キャピラリー寿命を向上させる事により1ボンドあたりのコストを大幅に改善しました。

2.5KKTD後もキャピラリー先端に大きな摩耗は確認されず、長寿命素材PX™の高い耐摩耗性を証明。

先端表面処理Z-Matte

Z-Matte™は、業界で最も粗く(※)、かつ均一な粗さに仕上げる表面処理技術を確立しました。

• 2014年11月時点での自社調査による。
• 粗さの指標は、Ra（算術平均粗さ）とする。

効果

①キャピラリー先端表面のグリップ力強化によって、2ndボンディング接合性が向上します。
・Ni-Pd PPFリードフレームなどの2ndボンディング接合難易度が高い素材への接合性を確保。
・低い荷重、US設定を可能にし、キャピラリーの先端摩耗を抑制。

②先端表面凹凸部分の局所的な応力集中を抑えることで、表面形状を維持します。
・2ndボンディング接合の長期安定性、キャピラリーの長寿命化に貢献。

Z-Matte™表面

接合難易度の高い素材への2nd接合性確保
2ndボンディング接合部のスティッチ部分にキャピラリー先端表面粗さが転写されているため、Z-Matte™におけるグリップ力の向上が確認できる。

CAEでの力積評価

微細加工技術

TOTOの卓越した微細加工技術によって、高精度に加工されたキャピラリーは、あらゆるボンディング条件下において、常に安定したボンダビリティを発揮します。

技術優位性

TOTOは厳密にキャピラリー寸法を管理しています。