エアスライド製品バリエーション

一軸エアスライド

  • 一軸エアスライドの画像

    豊富なバリエーションを取揃えております。

  • スタック型XYステージ画像

    スタック型XYステージ（構成イメージ図）

精度（例）：0等級の真直精度

垂直方向
（ストローク×0.08/100）μm
水平方向
（ストローク×0.05/100）μm
例 : 300ストローク　0級の垂直方向真直精度
300×0.08/100=0.24よって0.24μm/300mm

角度運動 （精度等級例）：角度運動（ピッチング・ヨーイング）μrad

ストローク 0級
100mm 4
300mm 7
500mm 10
エアスライドストロークと角度運動
(ピッチング、ヨーイング/全ストロークの実測値から算出）

超低振動エアスライド

超低振動エアスライドの画像

更なる高精度のニーズに対応する超低振動エアスライドです。当社独自の軸受設計技術、測定評価技術により、テーブル振動1nm以下を達成しました。ナノメータレベルの精度要求におこたえします。

  • エアON…0.72nm
  • エアOFF…0.63nm
    • エアーON-OFFで見るB4型水平方向微振動データ　0.09nm
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